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1）塵埃粒子zui高允許數(shù)（每立方米）：

大或等于0.5微米的粒子數(shù)不能超出3500000個，大或等于5微米的粒子數(shù)不能超出20000個；

2）微生物zui高允許數(shù)：

浮游菌數(shù)不能超出500個每立方米；沉降菌數(shù)不能超出10個每培養(yǎng)皿。

3）壓差：

相同潔凈度等級的潔凈車間壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈車間之間壓差要≥5Pa，潔凈車間與非潔凈車間之間要≥10Pa。

4）溫度、濕度：

10萬級無塵室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈服不產(chǎn)生舒適感為宜，溫度一般控制在秋冬季20~22℃；春夏季24~26℃；波動±2℃。秋冬季潔凈車間空氣濕度控制在30-50%，春夏季潔凈車間空氣濕度控制在50-70%。

5）配電：

潔凈室（區(qū)）的主要生產(chǎn)用地一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員潔凈和物料潔凈用室、氣閘室、過道等的照度值宜為200~300Lx。

6）噪聲控制：

一、動態(tài)檢測時，萬級無塵室內(nèi)的噪音級不得超出70分貝A。

二、靜態(tài)檢測時，萬級亂流無塵室的噪音級不能超出60分貝A。

7）送風(fēng)方式：

氣流組織10萬級無塵室主要采用的送風(fēng)方式有以下三種：

1、局部孔板頂棚送風(fēng)；

2、帶擴(kuò)散板高效空氣過濾器頂棚送風(fēng)；

3、上側(cè)墻送風(fēng)等三種送風(fēng)方式。

8）回風(fēng)方式：

10萬級無塵室主要采用的回風(fēng)方式主要有：

1、單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口；

2、當(dāng)采用過道回風(fēng)時，在過道內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在過道端部集中設(shè)置回風(fēng)口。

9）風(fēng)口風(fēng)速：

送風(fēng)口風(fēng)速米/秒：

1、孔板孔口3~5；

2、側(cè)送風(fēng)口：

（1）貼附射流2~5；

（2）非貼附射流同側(cè)墻下部回風(fēng)1.5~2.5，對側(cè)墻下部回風(fēng)1.0~1.5。

回風(fēng)口風(fēng)速（米/秒）：

1、無塵室回風(fēng)口不超2；

2、過道內(nèi)回風(fēng)口不超4。